干法清洗:
对于已经氢还原的MCP,因为二次电子发射层已经形成,集中供液系统,如果采用化学清洗或湿法清洗容易造成对MCP电性能的破坏,并可能产生清洗介质对MCP的再次污染。因此氢还原后的MCP,一般选用干法清洗,主要包括等离子清洗、辉光放电、紫外清洗等清洗技术。
晶圆清洗是半导体制造典型工序中较常应用的加工步骤。就硅来说,清洗操作的化学制品和工具已非常成熟,系统,有多年广泛深入的研究以及重要的工业设备的支持。所以,集中供酸系统,硅清洗技术在所有具实际重要性的半导体技术中是较为成熟的。**一个完整的、基于科学意义上的清洗程序在1970年就提出了,这是专门设计用于清除Si表面的微粒、金属和**污染物。
选择清洗机时要注意
仔细观察认证标志,鉴别产品质量。
比如图案大小, 各认证机构对于其认证标志的外观。比例,颜色,必需要有的内容等,都有严格的规定。像CE认证,其比例是有严格界定的左下图是正确的CE标志,右下图是假冒的标志。其区别在于字母E里面的小横线的长短不同,真标识的小横线应当短于上下两横线。同时请注意该标识必需依照两圆交接处的距离来确定C和E两个字母的间隔距离。两字母间距过大或过小都是假冒的。