民用清洗机
在财发作打造劳动过程当中触及到的清洗机都属于财打造清洗机的范畴。食品财打造。纺织财打造。造纸财打造。印刷财打造.石油加财打造。交通运输业,电力财打造、金属加财打造、机械财打造.汽车打造,仪器仪表,电子财打造、邮电通讯、家用电器.医疗仪器。光学打造品、军事设备,航空**,原子能财打造等都大量应用到清洗机手艺。
清洗机 概略从不同的角度发展分类,按照清洗机范畴的不同,当前通常将清洗机分为民用清洗机与财打造清洗机两类
清洗机 是一种与人们保存实际干系尤其密切的劳动,人类从泰早期间就劈头从事这类劳动。由于保守?清洗机操作容易,或只是作为一道工序依附于生打造过程当中,不有引起广?泛关注。进入21世纪,人们保存已?经从温饱阶段进入到舒应时代,半导体清洗设备价格,对于清洗机打造品越来越多的重要,加快了新打造品研发挨次;同时,打造业的高速发展,江苏半导体清洗设备,也促成了清洗机装备、清?洗剂等企业的快速前进。民用、财打造两大清洗机范畴宏壮的市场重要,培育种植提拔了中国清洗机行业簇新的将来。
清洗流程的操作规范:
(1) 用丙酮(ACE)、异丙醇(IPA)、去离子(DI)水依次进行超声清洗**声设备内槽、烧杯、花篮、卡塞及样品盒;
(2) 在二个超声设备的内槽分布倒入 2000 - 4000 ml的丙酮和异丙醇溶液,具体的溶液体积由内槽的容积来定,保证溶液水平面在花篮上平面以上;在一个烧杯中倒入2000 ml丙酮溶液;记录溶液更换日期,按每2000 ml溶液清洗250片晶片的要求规划溶液的清洗次数;
(3) 将晶片用花篮盛放并将其置于丙酮的内槽中,设置超声的温度60°C,并计时超声清洗晶片10分钟,用盖将内槽封闭,并记录溶液累计使用片数;
(4) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;
(5) 将花篮置于异丙醇中,设置溶液温度60°C,苏州半导体清洗设备,记时超声清洗晶片10分钟,用盖将内槽封闭,记录溶液累计使用片数; (5) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;
(6) 将放有晶片的花篮置于已配制好的硫酸和双氧水(共1200 ml,H2SO4 : H2O2 =3:1)溶液中,计时10分钟,并记录溶液使用累计片数;保持溶液的温度为90°C。如果溶液不是新配溶液,需向溶液中按溶液的1/3加入双氧水溶液;
(7) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;
(8) 将晶片从花篮中取出,放置到特制的卡塞中,将放有晶片的卡塞置于兆声波设备内槽中,半导体清洗设备,在60°C兆声清洗10分钟;
(9) 将放有晶片的卡塞取出冲水10分钟;
(10) 将放有晶片的卡塞放入甩干机中,烘干。
RCA清洗附加兆声能量后,可减少化学品及DI 水的消耗量,缩短晶片在清洗液中的浸蚀时间,减轻湿法清洗的各向同性对积体电路特征的影响,增加清洗液使用寿命。