清洗机医疗、医学研究行业:
需要清洗的产品:手术器具、牙科钻头、扩孔器、食道镜、支气管镜、直肠镜、膀胱镜、吸液管、玻璃容器、注射器、传感器、试料玻璃等
污染源:血液、凝胶体、灰尘、线头、指纹、进入血中的污物、残剩的处理物、蛋白
使用清洗剂:碱性洗涤剂、中性洗涤机;消毒剂;纯水、蒸馏水
目前在 半导体清洗机湿式清洗制程中,主要应用项目包含晶圆清洗与湿式蚀刻两项,晶圆 (湿式) 清洗制程主要是希望藉由化学药品与清洗设备,清除来自周遭环境所附着在晶圆表面的脏污,清洗机厂家,以达到半导体组件电气特性的要求与可靠度。至于脏污的来源,清洗机,不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生,玻璃清洗机,以及制程反应产生物的结果,SC-1清洗机,尤其是制程反应产生物一项,更成为制程污染主要来源,因此如何改善制程中所产生污染,便成为清洗制程中研究主要的课题。
过去 RCA 多槽湿式清洗一直是晶圆清洗的主要技术,不过随着近年来制程与清洗设备的演进,不但在清洗制程中不断产生新的技术,也随着半导体后段封装技术的演进,清洗设备也逐渐进入封装厂的生产线中。以下本文即针对清洗设备与技术作一深入介绍,并分析清洗设备发展的关键机会及未来的发展趋势。