苏州晶圆清洗机设备|苏州晶淼半导体|晶圆清洗

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清洗的注意事项：

(1) 设备运行时，晶圆清洗，腔体内必须放卡塞，上海晶圆清洗设备，否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低；

(2)晶片必须均匀放置在卡塞内，尽量保证首尾重力平衡；

(3)卡塞放置在腔体内时，片子正面应朝向观察窗一侧；

(4)设备运行中不得试图打开密封门盖，否则会造成人体伤害或机器损坏。